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cems煙氣監測系統顆粒物監測采用抽取式測量法，煙氣的溫度采用溫度傳感器測量，煙氣壓力采用壓力傳感器測量，煙氣流速采用皮托管測量;將所有的測量信號送入數據采集與處理系統。

煙氣排放自動監測設備系統由氣態污染物（SO2、NOX、02等）監測、顆粒物監測、煙氣參數（溫度、壓力、流速等）監測及數據采集與處理4個必選子系統組成。

煙氣排放連續監測系統可以連續監測SO2、NOX、02（標準、濕基、干基和折算）、顆粒物濃度、煙氣溫度、壓力、流速等多項相關參數，并統計排放率、排放總量等。從而對測量到的數據進行有效管理。